FHR wählt DC-Prozessstromversorgungstechnik von Advanced Energy für neues Rolle-zu-Rolle-Beschichtungssystem
May 15 2015 - 11:37AM
Die Produkte Ascent(R) AMS, DMS DC
und die bipolaren Produkte bieten Innovation, überragende
Prozessstabilität und Zuverlässigkeit bei kritischen
SiO2-PVD-Anwendungen
FORT COLLINS, Colorado, 15. Mai
2015 (GLOBE NEWSWIRE) -- Advanced Energy Industries Inc.
(Nasdaq:AEIS) gab heute bekannt, dass die bipolaren
Prozessstromversorgungen sowie die Systeme Ascent AMS und DMS DC
ausgewählt wurden, um die Energie für ein leistungsfähiges
Rolle-zu-Rolle-Beschichtungssystem zu liefern, das momentan in
Deutschland gebaut wird. FHR Anlagenbau GmbH (FHR), ein deutscher
Hersteller für Dünnschicht-Vakuumprozesssysteme aus
Ottendorf-Okrilla, wird Ascent-Geräte von Advanced Energy (AE) in
einem Inline-Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungssystem mit 1,6 m
Breite und 12 km Rollenlänge einsetzen. Die Anlage ist für einen
Kunden in Asien vorgesehen und arbeitet mit PVD-Sputtertechnologie,
um verschiedene Oxidfilme wie beispielsweise Siliziumdioxid (SiO2)
in emissionsarmen Beschichtungsanwendungen aufzubringen.
Die praxiserprobten
Ascent-Stromversorgungen liefern eine stabile, reproduzierbare
Prozessleistung, um Metall- und Oxidschichten herausragender
Filmqualität, Produktivität und Ausbeute in emissionsarmen
Anwendungen zu produzieren. Diese präzise Bereitstellung von
Energie, die für die Erreichung von Abscheidungen mit hoher
Qualität und Geschwindigkeit entscheidend ist, fußt auf dem
umfangreichen unternehmenseigenen Know-how von AE, darunter die Arc
Management System(TM)-Technologie, eine leistungsfähige
Boost-Funktion sowie eine ausgefeilte Echtzeitkontrolle von
Dünnschicht-Plasmaparametern.
"Die neuen Entwicklungen bei
Stromversorgungen der letzten Jahre haben entscheidend zu den
Technologie- und Produktivitätsfortschritten in PVD-Anlagen
beigetragen", sagte Sascha Kreher, Leiter Verfahrenstechnik bei FHR
Anlagenbau. "Besonders auf dem Gebiet von reaktivem
Dual-Magnetron-Sputtering mit hohen Raten wurden signifikante
Fortschritte erzielt, die die Wettbewerbsfähigkeit, Leistung und
Flexibilität von FHR-Anlagen bei führenden Prozessen gesteigert
hat."
Die Ascent DMS-Serie glänzt beim
Management von Bogenentladungen - auch bei kritischen
Prozessmaterialien wie SiO2. Dies wird durch das bipolare Design
erreicht, bei dem Spannungs- und Stromhalbwellen gemessen und Bögen
rasch gelöscht werden. Die unabhängige Stromsteuerung jeder Kathode
ermöglicht den automatischen Ausgleich des Arbeitszyklus
entsprechend dem Verschleißprofil der einzelnen Targets, was zu
einer erhöhten Uniformität der Target-Erosion und zu längeren
Einsätzen führt. Eine steuerbare Pulsanstiegs-Boost-Funktion bietet
deutliche Vorteile für das Design des Vakuumsystems und macht aus
einem Ascent DMS-Gerät eine Stromquelle und trägt zu
Abscheidungsraten bei, die die konventionellen Grenzen weiter
verschieben. Exklusive Stromversorgungsoptionen wie eine wählbare
Frequenz und eine unabhängige Stromverhältnisregelung für jedes
Magnetron liefern Leistungsstabilität, Prozesswiederholbarkeit und
-übertragbarkeit im Leistungs-, Strom- oder
Spannungsregelmodus.
"AE hat eine neue Ära der
Präzisionsstromumformung für Dual-Magnetron-Sputter eingeläutet",
sagte Yuval Wasserman, Präsident und CEO von Advanced Energy. "Wir
freuen uns, dass die stabile, reproduzierbare Leistungsabgabe des
Ascent AMS- und DMS-Reihen FHR dabei hilft, Verfahrensprobleme zu
lösen und Innovationen zu erzielen. Unsere Produkte bieten
außergewöhnliche Fähigkeiten, damit unsere Kunden neue Anwendungen
entwickeln und neue Möglichkeiten realisieren können."
Über Advanced Energy
Advanced Energy (Nasdaq:AEIS) ist
ein weltweit führender Anbieter von innovativen Stromversorgungs-
und Steuerungstechnologien für wachstumsstarke
Präzisionsstromwandlungslösungen. Das Unternehmen hat seinen
Hauptsitz in Fort Collins, Colorado, und unterhält eigene Support-
und Service-Standorte auf der ganzen Welt. Weitere Informationen
finden Sie unter www.advanced-energy.com.
Über die FHR Anlagenbau GmbH
Die FHR Anlagenbau GmbH in
Ottendorf-Okrilla ist auf die Entwicklung von innovativen
Dünnschichttechnologien und Vakuumbeschichtungsanlagen sowie
Dienstleistungen im Dünnschichtbereich spezialisiert. Das 1991 in
Dresden gegründete Unternehmen gehört seit 2008 zur
centrotherm-Gruppe. Größtes Geschäftsfeld ist der
Vakuumbeschichtungsanlagenbau für Industrie und Forschung zur
Nutzung von Bedampfungs-, Sputter-, CVD- und ALD-Technologien. Das
FHR-Produktportfolio umfasst Vakuumprozessanlagen für vielfältige
Wirtschaftsbereiche wie die Photovoltaik, hier speziell
CIGS-Solarzellen und organische PV-Technologie, die Solarthermie,
die Optik, die Elektronik und Sensortechnik sowie den Automobilbau.
Ein strategischer Produktschwerpunkt sind
Folienbeschichtungsanlagen für die Herstellung biegsamer
Elektronik, flexibler Solarzellen und organischer Displayfilme.
Hier nimmt FHR eine führende Technologie- und Marktposition ein. In
einem weiteren Geschäftsbereich
fertigt FHR Sputtertargets für die Beschichtungsindustrie. Weltweit
arbeitet FHR mit namhaften Industriepartnern und
Forschungsinstitutionen zusammen.
KONTAKT: Bates Marshall
Senior Vice
President
Global Sales,
Marketing and Service
Advanced Energy
Industries, Inc.
+1.408.574.2534
This
announcement is distributed by NASDAQ OMX Corporate Solutions on
behalf of NASDAQ OMX Corporate Solutions clients.
The issuer of this announcement warrants that they are solely
responsible for the content, accuracy and originality of the
information contained therein.
Source: Advanced Energy Industries, Inc. via
Globenewswire
HUG#1921914
Advanced Energy Industries (NASDAQ:AEIS)
Historical Stock Chart
From Aug 2024 to Sep 2024
Advanced Energy Industries (NASDAQ:AEIS)
Historical Stock Chart
From Sep 2023 to Sep 2024